Überblick über das Modul ''Spezielle Methoden der Halbleiterfertigung''
In diesem Modul werden Technologien für spezielle Anwendungen behandelt. Hierzu gehören die Schichttechnologien und die Grundlagen für die Herstellung kleinster Strukturen.
Physikalische Grundlagen der Nanotechnologien
In dieser Vorlesung werden Kenntnisse über neueste Entwicklungen zur Realisierung kleinster Strukuren vermittelt.
Halbleiter- und Hybridtechnologien
Die technologischen Methoden zur Fertigung von Dick- und Dünnschichtschaltungen werden ausführlich dargestellt.
Das Bild zeigt ein Gerät zur Prüfung der Haftfestigkeit von Leiterbahnen.
