Vom 08.10. - 13.10. besuchte eine Gruppe von zwölf Studierenden unter der Leitung von Prof. Dr. Michael Ćurčić die Halbleiter Firmen in Baden-Württemberg.
Den Start der Exkursion bildete dabei der Besuch der Zeiss AG, dem aktuell weltweit einzigen Hersteller von Optiken für EUV Belichter. Erst der Einsatz dieser Anlagen erlaubt es heutzutage, mit Hilfe fotolithographischer Prozesse Halbleiterstrukturen bis runter auf 5nm herzustellen. Im Rahmen der Führung konnten die Studierenden viele Errungenschaften der Zeiss AG im Bereich der Optik und deren Einsatz in der Halbleiterherstellung hautnah betrachten.
Foto: Zeiss Guide
Am zweiten und dritten Tag besuchten die Studierenden die Robert Bosch GmbH in Reutlingen. Zunächst hatten die Studierenden die Möglichkeit, das sogenannte Front-End des weltweit größten Herstellers von MEMS-Sensoren in einer Window-Tour zu betrachten. Dabei konnten die Teilnehmer sehen, wie in großer Stückzahl ausgehend von Siliziumwafern MEMS-Sensoren in vielen und aufwendigen Schritten produziert werden. Während der Führung durch das Back-End der Robert Bosch GmbH konnten die Studierenden die aufwendigen Tests kennenlernen, welche an Sensoren durchgeführt werden, um eine hohe Qualität und Zuverlässigkeit in sicherheitskritischen Anwendungen zu gewährleisten, wie z.B. dem Automotivbereich.
