Hochschule Düsseldorf
University of Applied Sciences
Fachbereich Elektro- & Informationstechnik
Faculty of Electrical Engineering & Information Technology

Reinraum

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​​​​​Fachgebiete

  • ​​Grundlagen der Halbleiterfertigung, AVT und Verfahrenstechnik


​laborausstattung

Chemielabor

  • Digestorien
  • Spektrometer
  • Prozessofen​​


Lithographie

  • Mask Aligner
  • Plasma-Verascher
  • Sputtertool
  • Inspektionsmikroskop mit Mikrohärteeinrichtung
  • Cleanbench mit Spinner, hot plates, Trockenofen, US-Becken und Spülbecken
  • Anodischer Bonder
  • Aufdampfanlage
  • HL-Prozessöfen
Technologielabor

  • Wafersäge
  • Oberflächenprofilometer
  • Halbautomatischer Drahtbonder
  • optischer Tisch
  • Materialprüfmaschine
  • Inspektions- und Stereo-Mikroskop
  • Konfokalmikroskop
  • Sonnensimulator
  • Profilometer

​​

Räume

  • ​​E 3.41 - E 3.43
  • Zugang über die Schleuse im E 3.41b​

​​Ko​n​​takt​

​Dipl.-Ing. Jürgen Brieger:

M.Sc. Jessica Richter:

Dipl.-Ing. Rainer Schulze:

B.Eng. Christoph Wallraf: